検査装置

検査装置は、製品や部品が設計仕様や品質基準を満たしているかを確認するために、不良や異常の有無を検出・評価する装置です。

半導体分野では、ウェーハやチップの表面状態や内部構造、電気特性などを検査し、欠陥や性能異常を見つけるために用いられます。

具体的には、高解像度カメラや電子顕微鏡、レーザーなどを用いて外観の傷・異物・パターン不良を検出する装置や、電気信号を与えて動作を確認するテスターなどが含まれます。

半導体は微細で複雑な構造を持つため、製造工程の各段階で検査装置が使用され、品質保証・歩留まり向上・信頼性確保に不可欠な役割を担います。