プローブ痕とは？半導体検査で発生する針跡の役割・評価方法・検査の考え方をわかりやすく解説
半導体のウェハ検査では、チップやウェハの電極パッドにプローブ針を接触させ、電気特性や導通を測定します。このとき、パッドの表面に残る小さな針跡がプローブ痕です。 プローブ痕は「傷」や「不良のサイン」と受け取られがちですが、 […]
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ウェハ検査とは？｜半導体前工程での役割/検査方法/検査装置の全体像をわかりやすく解説
半導体製造におけるウェハ検査は、欠陥や異物、回路パターンの異常を早い段階で見つけ、歩留まりと品質を守るための重要な工程です。 一方で、ウェハ検査装置・ウェハ外観検査装置・ウェハ表面検査装置・ウェハテスト工程 […]
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