ウェハ検査装置の種類と違い｜光学式とSEMの使い分けと選び方
ウェハ検査装置は、ウェハ上の異物・傷・回路パターンの欠陥を見つけ、その位置を記録する装置の総称です。同じ「ウェハ検査装置」でも、ベアウェハ（回路パターンを形成する前のウェハ、鏡面ウェハのほか、エピタキシャルウェハやSOI […]
続きを見るウェハの記事一覧
プローブ痕とは？半導体検査で発生する針跡の役割・評価方法・検査の考え方をわかりやすく解説
半導体のウェハ検査では、チップやウェハの電極パッドにプローブ針を接触させ、電気特性や導通を測定します。このとき、パッドの表面に残る小さな針跡がプローブ痕です。 プローブ痕は「傷」や「不良のサイン」と受け取られがちですが、 […]
続きを見る
ウェハの厚みとは？ サイズ別の目安・規格の考え方・厚み測定をわかりやすく解説
半導体ウェハの厚みは、単なる寸法ではありません。製造工程での搬送性、割れにくさ、反りの出やすさ、加工のしやすさ、品質管理の考え方にも関わる重要な仕様です。 この記事では、ウェハの厚みの基本、サイズ別の代表値、ウェハ厚みの […]
続きを見る
ウェハ検査とは？｜半導体前工程での役割/検査方法/検査装置の全体像をわかりやすく解説
半導体製造におけるウェハ検査は、欠陥や異物、回路パターンの異常を早い段階で見つけ、歩留まりと品質を守るための重要な工程です。 一方で、ウェハ検査装置・ウェハ外観検査装置・ウェハ表面検査装置・ウェハテスト工程 […]
続きを見る
