プローブ痕とは?半導体検査で発生する針跡の役割・評価方法・検査の考え方をわかりやすく解説
半導体のウェハ検査では、チップやウェハの電極パッドにプローブ針を接触させ、電気特性や導通を測定します。このとき、パッドの表面に残る小さな針跡がプローブ痕です。 プローブ痕は「傷」や「不良のサイン」と受け取られがちですが、 […]
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続きを見る半導体ウェハの厚みは、単なる寸法ではありません。製造工程での搬送性、割れにくさ、反りの出やすさ、加工のしやすさ、品質管理の考え方にも関わる重要な仕様です。 この記事では、ウェハの厚みの基本、サイズ別の代表値、ウェハ厚みの […]
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半導体製造におけるウェハ検査は、欠陥や異物、回路パターンの異常を早い段階で見つけ、歩留まりと品質を守るための重要な工程です。 一方で、ウェハ検査装置・ウェハ外観検査装置・ウェハ表面検査装置・ウェハテスト工程 […]
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半導体の高性能化や小型化が進むなかで、ウェハ ボンディングは先端パッケージングや3D積層を支える重要な接合技術として注目されています。 ただし、関連する用語が多く、「ウェハ ボンディング とは何か」「どの工程で使われるの […]
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