グローブボックス
グローブボックス(Glove Box)は、外部環境から隔離された密閉空間内で試料や部品の取り扱いを行うための装置です。
内部には不活性ガス(窒素やアルゴンなど)が充填されており、酸素や水分の影響を受けやすい材料や工程(半導体材料の保管・前処理など)において使用されます。
作業は外部から手袋(グローブ)を介して行われるため、内部環境を維持したまま安全に操作できるのが特徴です。
高純度環境の維持やコンタミネーション防止に優れる一方で、酸素・湿度管理や装置内の清浄度維持が重要となります。
