クリーンルーム

クリーンルームは、空気中の微粒子や温度・湿度などを厳密に制御し、極めて清浄な状態を維持する作業空間のことです。

半導体分野では、わずかな粒子でも回路不良の原因となるため、高性能フィルターや気流制御によって異物の混入を防ぐ環境が必要とされます。

清浄度は「クラス」で表され、国際規格ISOクラスと業界慣用の旧規格（クラス100、1000など）が併用されます。数値が小さいほど清浄度が高く、例えばISO Class 5はクラス100相当、ISO Class 7はクラス10000相当の環境を示します。

このように、クリーンルームは異物による不良を防ぎ、半導体の品質と歩留まりを支える重要な製造環境です。