ノズル

ノズル（Nozzle）は、半導体製造装置や各種装置において、液体・ガス・材料などを吐出し、その流量や方向、形状を制御するための部品です。

装置の先端に取り付けられる細い管状または開口部を持つ構造で、必要な位置に精密に材料を供給したり、洗浄液やガスを噴射したりする役割を担います。

半導体分野では、ディスペンス（樹脂塗布）、洗浄、ボンディング補助、さらにはピック＆プレース装置など、さまざまな工程で使用され、工程ごとに形状や仕様が最適化されています。

微細加工や高精度な制御が求められるため、ノズルの開口径や材質、表面精度が処理品質に大きく影響する重要な装置部品です。