マイクロスコープ

マイクロスコープ（Microscope）は、微小な対象物の表面や構造を拡大して観察・記録するための光学機器で、主にデジタルカメラと光学系を組み合わせた観察装置です。

対物レンズで取得した像をデジタル信号として処理し、モニターに表示することで、微細構造を高解像度で可視化できるのが特徴であり、拡大観察だけでなく画像保存や解析にも対応します。

半導体分野では、ウェハやパッケージ、ボンディング部の外観検査や欠陥観察に用いられ、微小な傷・異物・接合不良などを非破壊で確認できる重要な検査ツールです。

高精細観察やデータ共有に優れる一方で、観察条件（照明・倍率・焦点制御）の最適化が品質評価精度を左右する重要な要素となります。