ワーク
ワーク(Work)は、半導体製造や検査工程において、処理・検査・加工の対象となる対象物(被検物・被加工物)を指す総称です。
具体的には、シリコンウェハ、半導体チップ(ダイ)、パッケージ基板、実装済み基板(PCB)などがワークに該当します。装置(検査装置・加工装置・搬送装置など)は、ワークを位置決め・保持しながら処理を行うため、その形状・サイズ・材質に応じたハンドリング設計が必要です。
特に検査装置分野では、「ワークサイズ対応範囲」「ワーク固定方法(チャック・真空吸着など)」「搬送精度」が装置性能を左右する重要な要素となります。
